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产品介绍

NF-300M Supra-H设备是我公司自主研发的利用于新一代三维闪存（3D-NAND）出产线上的叠层薄膜沉积设备。利用于3D-NAND闪存芯片的出产？墒迪諷iO2、SiN多层薄膜堆叠结构

，在均匀性、颗粒度、粗糙度、应力及产能等方面实现技术突破

，设备机能指标达同类产品水平。

产品特点
1. 高产能设计和可实现多种薄膜沉积的急剧切换。
2. 可实现多层SiO2、SiN（ONON)堆叠职能。
3. PM腔内可进行多片wafer沉积和wafer自动起落旋转职能。
4. 通过S2安全认证。